二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #293810587 待售

NOVELLUS CONCEPT 2是一種最先進的反應堆，設計用於在高科技、半導體制造過程中處理高價值基板。反應堆的特點是其持續的生產能力和在其使用壽命內的低擁有成本。CONCEPT 2反應堆有能力以比以前的NOVELLUS反應堆模型更高的效率和生產率水平進行加工。它具有增加的蝕刻工藝表面積,因此增強了制造工藝。由於改進了壓力控制技術以及利用惰性氣體提高整個表面的圖像均勻性和對比度，反應堆能夠以比競爭模型更高的沈積速率運行。該機組的運行能力圍繞著其改進的熱循環和溫度均勻性能力。這確保了工藝表面更加一致和可靠，從而減少了能耗、成本和排放。Cycle Time性能允許提高吞吐量和更高的生產效率,這意味著公司的損失減少,利潤增加。該裝置采用基於腔室的加工區，將沈積過程與蝕刻過程分開。這使得工藝配方能夠從一種模式轉移到另一種模式，並防止來自不同工藝的汙染從一種模式遷移到另一種模式。NOVELLUS CONCEPT 2反應堆設計有幾個特點，以提高其可靠性。組裝好的元件使用緊固件代替螺釘緊固件,並用符號標記以指示磨損點。充氣和擴散罐由高級不銹鋼制成，以抵抗腐蝕和磨損。反應堆采用模塊化設計，允許延長使用壽命，低更換成本。反應堆包括自主控制設備，允許高效、精確運行。系統采用單擊可編程配方,能夠檢測過溫事件,並且設備會立即指示發生的任何錯誤或問題。控制機器進一步保證了從一次運行到下一次運行的質量保證、可靠性和可重復性。最後,該單元的設計考慮到了易用性和集成性。該設備的軟件安裝和使用簡單，確保了NOVELLUS控制器和其他系統之間的兼容性。該設備還可以在整個生命周期內以最小的維護維護其性能和完整性。最後，CONCEPT 2旨在為高價值基材加工提供高效、高質量的結果。模塊化、效率、可靠性和集成的結合使NOVELLUS CONCEPT 2成為任何半導體制造工廠的強大而可靠的機器。