二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9004475 待售
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ID: 9004475
晶圓大小: 8"
優質的: 2007
CVD system, 8"
Dual-Speed-S
SiO2 Process chamber
Gas configuration:
1 Ar 500 sccm
2 O2 500 sccm
3 NF3 1 slm
4 SiH4 200 sccm
5 He 500 sccm
8 H2 2 slm
MFC:
Aera/FC-7800CD
NC, Metal Seals
1/4”MVCR, 9pin
D-Type Conn
10μin Ra
(2) SPEED-S Module (STI):
Module Controller
Reactor Chamber
Gas Box
Exhaust System
Pressure Measurement System
LPB (Local Power Box)
RF Supply & Output System
APC (Auto Pressure Controller)
Vent N2 Supply System
He Supply System for ESC
Temperature Measurement (NTM3)
Cooling Water Supply System
Compressed Air Supply System
DLCM-X Module (Hi/Low Type) with SMIF:
Standard SMIF
TM Aligner
System Controller (UI I/F)
Module Controller
(2) Load-lock Chambers
Transfer Chamber
Transfer Robot (Indexer for L/L x 2, Mag for TM x1)
Slit Valve
Turbo Pump (TMH260)
Purge Gas, Vent Gas Supply System
Cooling Water Supply System
Compressed Air Supply System
Exhaust System
Pressure Measurement System
Cooling Station
LPB (Local Power Box)
APC (Auto Pressure Controller)
RF Generator
HF Generator: (2) RFG 5500/AE
LF Generator: CLF-5000/COMDEL
Module single service drop, MSSD
Δ-Y Transformer (Type 3-628941, 100KVA)
UPS (“NemieLambda”PS-3210, “Hakkosha” 3WTC-10K)
(2) SMIF Robots (Asyst)
Missing / defects:
Ch-1: HF generator failure, No HF Matching, No Coaxial Cable
Ch-2: Isolation valve failure (100mTorr)
2000 vintage.
NOVELLUS CONCEPT 2反應堆是為提高生產質量和效率而設計的先進半導體制造設備。它是一種化學氣相沈積設備，用於將多晶矽等材料薄膜沈積在晶片上。這種沈積工藝是生產微處理器等集成電路設備的重要步驟。CONCEPT 2是由NOVELLUS Systems開發的精密工程工具。它具有高分辨率、均勻的矽沈積工藝以及多工藝腔室蝕刻功能。它利用先進的等離子體腔室技術，使蝕刻和沈積過程能夠同時完成，並對組成和腔室條件提供全面控制。這提供了極為均勻的沈積速率和薄膜厚度，不需要額外的調整步驟。NOVELLUS CONCEPT 2反應堆使用高頻發電機和專用感應線圈產生大面積、均勻的等離子體。等離子體然後被傳遞到一個多級等離子體腔內，在那裏它為送入腔內的前體提供能量。高能等離子體和化學物質的結合反應，在晶圓上產生所需的矽膜。這消除了對高度專業化和昂貴的脈沖磁控管塗層的需求。CONCEPT 2反應堆具有計算機控制的過程系統，並融合了先進的診斷能力和溫度控制。利用惰性氣體大氣來維持腔室內部的純度水平，真空單元有極快的響應時間，允許快速的過程中調整。數據采集機還能夠進行功率監測、腔室壓力讀數和溫度測量，確保保持最佳環境。NOVELLUS CONCEPT 2反應堆提供出色的薄膜均勻性和控制性,能夠精確控制工藝參數.這就產生了質量優良的產品,具有極高的產量和可操作單元的產量。此外，在一次運行中產生多個沈積層的能力使得CONCEPT 2的用途極為廣泛。這使得它成為尋求提高生產效率和減少浪費的半導體制造商的絕佳選擇。
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