二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9069052 待售
網址複製成功!
單擊可縮放
ID: 9069052
晶圓大小: 8"
CVD system, 8"
Includes:
Wafer shape: Flat
SMIF Interface: No
Aligner: No
System main power: 3-Ph, 5-wires, 208 V
Module A: Standard
Process A: Sio2
Module B: Standard
Process B: Sio2
TM Throttle valve: TYLAN
TM Robot type: MTR5
TM Robot blade: Ceramic
Wafer sensor: Existence
Loadlock baratro model: 275 Mini convectron
TM Baratron model: Tylan 100 Torr
EMO: Turn to release
DLCM IOC Version: 4.0
Module controller: MC1 P100
Front monitor: Side
Module A:
Chamber type: Standard
Module controller: MC1
Process type: SIO2/SIN
Manometer: Mykrolis, 10 Torr
Manometer: Tylan 1000 Torr
Process clean type: In-Situ
HF Generator: OEM-28
Heater block type: 6-Station
Endpoint option: N/A
Spindle top plate type: (1) Piece
Spindle type: Ferroflo seal
Throttle valve: Tylan
RF Matcher: AMU2-1
IOC Version:
IOC0: 4.1
IOC1: 4.1
IOC2: N/A
LF Generator: PL-2HF
Foreline gate valve: VAT
Chamber gas box:
MFC # | Gas name | MFC size | MFC model
MFC B, N2, 10 SLM, Brooks 5964
MFC A, N2O, 20 SLM, Brooks 5964
MFC 9, C3F8, 2 SLM, Brooks 5964
MFC 8, O2, 3 SLM, Brooks 5964
MFC 6, NH3, 10 SLM, Brooks 5964
MFC 2, N2, 5 SLM, Brooks 5964
MFC 1, SIH4, 1 SLM, Unit UFC 8160
Module B:
Chamber type: Standard
Module controller: MC1
Process type: SIO2/SIN
Manometer: Mykrolis, 10 Torr
Manometer: Tylan 1000 Torr
Process clean type: In-Situ
HF Generator: OEM-28
Heater block type: 6-Station
Endpoint option: N/A
Spindle top plate type: (1) Piece
Spindle type: Ferroflo seal
Throttle valve: Tylan
RF Matcher: AMU2-1
IOC Version:
IOC0: 4.1
IOC1: 4.1
IOC2: N/A
LF Generator: PL-2HF
Foreline gate valve: VAT
Chamber gas box:
MFC # | Gas name | MFC size | MFC model
MFC B, N2, 10 SLM, Brooks 5964
MFC A, N2O, 20 SLM, Brooks 5964
MFC 9, C3F8, 2 SLM, Brooks 5964
MFC 8, O2, 3 SLM, Brooks 5964
MFC 6, NH3, 10 SLM, Brooks 5964
MFC 2, N2, 5 SLM, Brooks 5964
MFC 1, SIH4, 1 SLM, Unit UFC 8160.
NOVELLUS CONCEPT 2反應器是一種具有革命性工藝的化學氣相沈積(CVD)設備,其設計目的是在原子層沈積(ALD)平臺上提供高沈積速率、高質量的薄膜以及卓越的生產率和可靠性。CONCEPT 2反應器的主要特點包括:薄膜沈積的亞一納米工藝控制;沈澱率高,膠片質量好;能夠精確控制沈積環境,從而實現整個過程控制;先進的基板溫度控制和均勻加熱,允許高吞吐時間;突出的同質性和均勻性。NOVELLUS CONCEPT 2反應器由於腔室尺寸小,沈積速率很高,而且有一個特殊的配方控制系統,可以對聚合物、金屬氧化物和金屬等多種材料進行精確沈積。沈積過程從引入原料氣體開始。這種氣體被送入底物所在的反應室中。然後將反應室加壓加熱至所需溫度。這使得原料可以蒸發,然後被真空帶走。沈積過程由先進的過程控制單元調節。本機可監測溫度、壓力、氣流等反應參數,並能進行調整,達到理想的效果。薄膜的均勻沈積是由於基板加熱高度均勻而實現的。CONCEPT 2反應器在腔內提供出色的熱均勻性,確保整個反應過程溫度均勻。這保證了均勻生長和改善膜性能。NOVELLUS CONCEPT 2反應堆還配備了強大的後處理工具,允許精確的膜均勻性調諧。此資產允許用戶優化薄膜成型,確保產品層滿足產品要求。該模型還允許用戶快速測試配方,而無需經過每個沈積過程的過程。最後,CONCEPT 2反應器是一種革命性的CVD設備,其設計目的是在原子層沈積(ALD)平臺上提供高沈積速率、高質量的薄膜以及卓越的生產率和可靠性。由於腔室體積小,配方控制系統特殊,具有較高的沈積速率,同時提供了良好的腔內熱均勻性,以保證均勻生長和改善膜性能。此外,它還具有強大的後處理單元,可進行精確的膜均勻性調整,使其成為薄膜沈積的理想機器。
還沒有評論