二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9071448 待售

NOVELLUS CONCEPT 2
製造商
NOVELLUS
模型
CONCEPT 2
ID: 9071448
晶圓大小: 12"
Assembly, 12".
NOVELLUS CONCEPT 2是一種化學氣相沈積(CVD)設備,一種反應堆,用於用各種材料的薄層覆蓋表面。CONCEPT 2常被用於在半導體基板和其他互連上,如銅、金、鈦、鋁等上創建薄膜層。NOVELLUS CONCEPT 2具有極高的沈積速率和精確控制。它具有創新的平板感應器設計,這有助於確保薄膜是一致和均勻沈積。這種設計還減少了因不同熱膨脹而損壞細膩薄膜層的可能性。CONCEPT 2系統能夠快速、準確地提高沈積速率.它具有兩個板載振動器,可在薄膜生長過程中保持基板層的均勻性。它還有一個加熱的排氣裝置,有助於驅除任何廢氣,並有助於減少對基板的汙染。NOVELLUS CONCEPT 2也是高度模塊化的,使得它可以通過另外三個基板熱數據采集系統進行擴展,使其非常適合復雜的增長過程。模塊化設計還使CONCEPT 2特別易於使用,因為可以根據需要輕松更換或升級組件。NOVELLUS CONCEPT 2具有整潔的房間設計,所有必要的組件都ISO-14644符合要求。它有三個獨立的房間,所有這些房間都被持續監測壓力和溫度。這為用戶提供了最大的靈活性,使他們能夠制作一致且質量最高的影片。CONCEPT 2對於那些尋找可靠的CVD機器來打造高品質薄膜的人來說是絕佳的選擇。它是一個高度模塊化和多用途的工具,可以很容易地適應各種特定的應用。NOVELLUS CONCEPT 2由於其精確的控制和較高的沈積速率,是各類薄膜應用的理想選擇。
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