二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9071449 待售

NOVELLUS CONCEPT 2反應器是一種CVD反應器，主要用於沈積用於半導體晶圓加工的二氧化矽薄膜。它是一個簡單的沈積過程，使用一種由氧氣和矽烷組成的氣體混合物，也稱為矽氧烷。氣體混合物從氣體供應進入腔室，然後流經反應區。在此，矽烷氣體被通過反應區的電流產生的熱量分解。隨後，副產物氧氣和二氧化矽沈積在晶圓表面上。CONCEPT 2反應器提供直接沈積，由於直流循環波形在氣體/固體界面產生電場，加速了晶圓表面的反應。合成沈積以較快的速度發生，並且在整個晶片上均勻。NOVELLUS CONCEPT 2還提供對腔內溫度、壓力和氣流的獨立控制。CONCEPT 2反應器由隔熱石英反應室、電化學加熱元件、排氣設備、真空泵、氣體輸送系統和控制監測系統組成。電化學加熱元件利用反應區產生的電流來加熱反應室，而排氣單元則作用於去除產生的副產物。真空泵在反應室內提供必要的耗盡壓力，而氣體輸送機則提供必要的氣體混合物。NOVELLUS CONCEPT 2反應堆比其他CVD工藝有幾個優點。首先，它需要最少的維護，可以在低溫低壓下操作。此外，由於其產生的直流循環波形，它具有更快的沈積速率，並且在整個晶片上提供了更好的均勻性。最後,它的功耗相對較低,再加上維護要求低,使其成為工業應用的一個非常可行的選擇。