二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9100803 待售
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ID: 9100803
晶圓大小: 6"
Metal sputtering system, 6"
Transport Module
(2) PVD Modules
Power Module
Cassette Module
CTI 8510 Compressor.
NOVELLUS CONCEPT 2是一種先進的化學氣相沈積（CVD）反應器，設計用於半導體制造設施。它是NOVELLUS Concept 3的前身，也是首批引入雙介電環形源使用的平臺之一。它特別適用於金屬有機物CVD和選擇性沈積等應用，以及較低溫度的過程，如磷和氮化矽沈積。CONCEPT 2是一種直列式CVD反應堆，旨在提供高生產率、工藝一致性和設備可靠性。該系統利用雙介電環形源增加有效基板面積，降低反應堆中產生的粒子水平。此功能允許增加基片的總數和更高的吞吐量,而不犧牲性能。耐熱的石英室提供出色的溫度控制，有可能達到高達1000 °C的溫度。該室還被證明能夠有效地維持多個過程周期，允許進行多次運行，而無需糾正或包裝。NOVELLUS CONCEPT 2利用其二維脈沖電源支持多種工藝配方。這項技術允許針對每種基材的需求進行完全優化的工藝配方。這又為用戶提供了控制整個晶片上蝕刻輪廓、沈積均勻性、線寬控制和溫度輪廓的獨特能力。此外,CONCEPT 2強大的修復和沈積選項允許高精度、可自定義的設備組件。借助NOVELLUS CONCEPT 2,用戶還可以從其自動晶圓傳輸單元中受益。這確保了所有基片通過精確的機械輸送通過多個反應堆對齊、居中和定位，利用經過驗證的非接觸準直光束轉向技術在腔室之間轉移晶片。CONCEPT 2是一個令人印象深刻的化學氣相沈積反應器。憑借其雙介電環形光源、堅固的修復沈積能力、二維脈沖電源以及自動化晶圓轉換機，用戶可以受益於更高水平的生產力、均勻性和刀具可靠性。
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