二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9113843 待售
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NOVELLUS CONCEPT 2是一種化學氣相沈積（CVD）反應器，主要用於將材料層沈積到各種基板上。它能夠對金屬和半導體薄膜的沈積進行低溫CVD工藝以及高溫CVD工藝。還配備了流程監控系統。CONCEPT 2利用兩個水平安裝的石英淋浴頭和三個沈積源將材料層沈積到基板上。石英淋浴頭被環形反射室包圍，利用電加熱元件加熱。基板放置在基板支架上，基板支架使用燃氣紅外燈和外殼加熱。沈積中使用的氣體采用質量流控制器和自動流控制器進行計量、混合和輸送到沈積室。NOVELLUS CONCEPT 2配備了廣泛的診斷程序，旨在監控CVD進程。其中包括多種紅外探測器、熱電偶、石英晶體微天平、石英晶體振蕩器。這些診斷可以快速識別CVD反應中存在的化學物質並調整工藝參數，以確保沈積膜的均勻性。此外，CONCEPT 2還配備了一個計算機系統，可以控制沈積過程和監測過程歷史。用戶能夠實時修改流程參數，從而允許根據需要進行調整。該系統還允許用戶輸入和訪問允許執行自動化程序的各種配方。NOVELLUS CONCEPT 2是一種通用工具,能夠為各種應用生產各種精密礦床。它是半導體和信息技術制造中必不可少的組成部分，可用於一系列應用的材料的均勻沈積。
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