二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9167960 待售

NOVELLUS CONCEPT 2是針對重入室優化的高性能蝕刻沈積反應器。該設備增強了先進光刻應用的蝕刻和沈積工藝。它提供了卓越的基板均勻性，提高了工藝靈活性，以及出色的工藝控制。CONCEPT 2采用了優化的體積平均負載平衡，減少了系統中存在負載導致的壓降量。負載平衡與單元中的壓力無關，從而導致整個基板的異常均勻性。它進一步提供了極好的工藝靈活性，允許快速的工藝變化和晶圓改造。各種氣體可用於蝕刻和沈積過程，而不必重新裝入工藝氣體系統。這種高度的靈活性允許使用多個腔室配置。NOVELLUS CONCEPT 2利用射頻功率技術進行沈積。這臺機器比整個基板的沈積速率具有更好的可控性。通過改變射頻功率，可以針對不同的沈積速率要求精確調整沈積速率。它還允許比傳統的沈積速率更低，以提高工藝性能，更好的晶圓均勻性和更高的吞吐量。CONCEPT 2提供了一種創新的負載鎖定設計,可減少過程周期時間。它還采用了一種新穎的電感耦合等離子體（ICP）源設計，使過程均勻性得到顯著提高。該工具還采用了一種新的電機設計和驅動架構，可以在降低振動水平的同時增加濺射均勻性。簡而言之，NOVELLUS CONCEPT 2反應堆是一種先進的高能力蝕刻沈積資產，設計用於再入室。它提供卓越的基材均勻性、工藝靈活性、工藝控制和吞吐量。針對傳統和先進工藝技術進行了優化，為現代蝕刻和沈積應用提供了絕佳的平臺。