二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9179262 待售

NOVELLUS CONCEPT 2設備是一種超高密度等離子體增強型化學氣相沈積（PE-CVD）系統，設計用於先進的半導體制造。該裝置具有極精確的沈積能力，非常適合用於先進設備和材料開發的需要沈積薄膜的應用。該機采用MRC（多環概念）設計，具有三個主沈積室。MRC基於單個腔室內多個質粒化學反應位點的概念。它具有兩級、單級、多級旋轉沈積環，允許在整個晶片表面進行廣泛的厚度控制和均勻性。該工具還能夠使用PE-CVD生產多種復雜薄膜，如特種材料、屏障層和透明氧化膜。資產配備了先進的負載鎖，使晶片可以直接裝入腔室而不會破壞真空。腔室具有廣泛的大氣和壓力控制能力，能夠一次處理多達24個晶圓。該模型還設計了先進的排氣設備，能夠安全、高效地清除廢料，防止系統部件堆積。CONCEPT 2還具有先進的等離子體源，允許在沈積過程中精確控制能量輸入。這種先進的光源采用動態變頻技術，在整個晶圓表面傳遞均勻的等離子體功率密度。該單元還配備了多種先進的診斷和計量系統，旨在檢查沈積膜的質量，確保整個晶片的均勻性。最後，NOVELLUS CONCEPT 2機是一種精密高效的PE-CVD工具，專為先進的半導體制造而設計。其薄膜的精確沈積和晶片表面的均勻性使其成為設備和材料開發應用的理想選擇。NOVELLUS Concepts 2通過其先進的負載鎖定、腔室壓力和大氣控制、先進的等離子體源以及先進的診斷和計量系統，能夠為各種應用提供最先進的薄膜沈積。