二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9186060 待售
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單擊可縮放
ID: 9186060
晶圓大小: 8"
CVD System, 8"
Sequel chamber
Modified reduced foot print frame
Missing parts:
Meter, DC, press, digital, leak back
Switch / Gauge photohelic
Gas lines plumbing (ALL)
MFC Cable (ALL)
Gas box cabling (ALL)
Numerous system cable (99% Gone)
Lower lift / Rotate assembly (Spindle)
Top plate: Except (4) panels
Intact items or present items:
Vacuum general adapter AC-2
EUROTHERM Heater controller
Heater feed through
RF Isolated TC (Filter)
Valve, throttle, vacuum control
Valve, gate, high vacuum
Upper spindle assembly
Heater block
(5) Shower heads
Fork plate / Ceramic forks
MYKROLIS MFC Gas panel (No plumbing)
Top plate: Lift assembly
Local power box (LPB)
Mega pac: MP5-95532
IOC 27-10318-00 Rev B
Shunt cap (For tune)
Temporary / Pressure control box.
NOVELLUS CONCEPT 2是一種單晶片批次化學氣相沈積（CVD）反應器，旨在滿足半導體工業的苛刻需求。CONCEPT 2反應堆能夠以更高的吞吐量速度執行高級過程，以達到更高的產量和更低的產品成本。NOVELLUS CONCEPT 2反應器設計用於沈積過程，包括鎢和矽基薄膜，如Ti/TiN、SiOC和BCB。該反應堆在不影響產量的情況下提供了卓越的性能。它具有獨特的設計配置和強大的電動頭設計，以更好地控制工藝室的條件。它配有多個內部電極，以更好的均勻性和減少電磁幹擾。CONCEPT 2反應堆還可以使用轉移機器人輕松連接到其他沈積工具。NOVELLUS CONCEPT 2的直徑為6英寸或8英寸,提供多種工藝選項,包括單晶片、批處理、多區域和多腔處理。利用實時、多段溫度控制系統進行精確的過程控制和穩定。該系統采用串行高性能嵌入式處理器,可實現最佳運行。CONCEPT 2以其M4噴射器支持連續的陶瓷氣體噴射輸送和按需給藥。它還有一個冷空氣外圍系統，可以連接進氣門和排氣門，以減少不需要的熱負荷，並提供幹凈、無塵的工藝環境。NOVELLUS CONCEPT 2可以通過其強大直觀的軟件輕松集成到新的或現有的系統中。流程增益和參數易於設置和監控，實時流程數據可用於檢測潛在問題並最大化產量。總體而言，CONCEPT 2是一種高效、高性能的先進工藝CVD反應堆。它具有卓越的精確度和性能,並具有直觀的軟件和先進的過程控制,是實現高產和降低產品成本的絕佳選擇。
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