二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9188214 待售

NOVELLUS CONCEPT 2是一個連續的單晶圓反應堆，為制造商提供了高質量生產微電子器件的創新方法。它是一個獨特的系統，在沈積、氧化、氮化和蝕刻操作中提供解決方案，實現了前所未有的均勻性和最大吞吐量。CONCEPT 2反應堆由真空室、射頻等離子體源、感應耦合等離子體發生器、獨特的固態晶片支架和一組工藝模塊組成。腔室與周圍的電子設備熱隔離，而內部的燈管和快門系統則允許反應堆內部的過程可視化。射頻等離子體源是NOVELLUS CONCEPT 2的核心，由三級設計組成，主要用於氧化物、氮化物或蝕刻工藝。它有助於保持離子能量和通量在晶片上的最佳平衡，從而實現精確的逐層沈積控制和卓越的均勻性。板載感應耦合等離子體源能夠產生不同的自由基種類進行蝕刻或清洗操作。固態晶片架是CONCEPT 2的關鍵組成部分，為反應堆和工藝模塊之間轉移晶片提供了快速可靠的機制。該持有者允許垂直和水平精確的晶片控制，以補償任何不均勻的載荷條件。NOVELLUS CONCEPT 2反應堆還包括一套旨在提高性能和均勻性的先進工藝模塊，包括：用於控制性能和超平滑層的高性能氧化模塊；一個低溫氮化模塊，以利用氧化物工藝無法提供的豐富的TDD和BTI外延生長；以及先進的蝕刻模塊，用於高度精確的蝕刻/清潔操作。這與從機器內部控制沈積/蝕刻室內多個變量的能力相結合。這些功能實現了對設備結構和微細尺寸的無與倫比的均勻性和全面控制。CONCEPT 2易於升級，允許客戶在單個反應堆中切換氧化物、氮化物或金屬工藝。這種靈活性使得生產更廣泛的微電子器件具有比以前更高的質量和更低的成本。