二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9188216 待售

製造商
NOVELLUS
模型
CONCEPT 2
ID: 9188216
TEOS gas cabinets.
NOVELLUS CONCEPT 2是一種用途廣泛的反應器,利用化學氣相沈積(CVD)將材料對齊並沈積到基板的指定區域。該設備利用一系列特殊氣體,如矽烷和三甲胺,產生沈積物。用戶可以調整反應堆的壓力、溫度和氣流,以產生所需的效果。它是廣泛研發應用的理想選擇。該反應堆生產的產品高度均勻,可用於大規模生產和工業應用。對於納米線和量子點材料的制備特別有用。CONCEPT 2由主腔室、裝載機/卸載機、計算機和控制接口組成。圓柱形主腔室通常在300-500毫巴壓力和300-500攝氏度的溫度下運行。定期用N2清洗反應堆,以確保無汙染環境。可以為各種沈積方法編寫各種配方。系統的裝載機/卸載機組件裝有一個機器人臂,用於將底物運往和運出反應堆。計算機單元與機器的其他組件無縫集成。控制界面允許實時反饋和用戶友好的編程命令,使用戶能夠即時調整參數和進行更改。其先進的等離子體控制工具允許用戶調節腔內等離子體參數的功率和頻率,以獲得最佳沈積速率。該資產還包括一個創新設計的散熱模型,以確保高效冷卻和最大限度地延長其壽命。NOVELLUS CONCEPT 2是一種功能強大、用途廣泛的反應堆,應用範圍廣泛。從量子器件的納米級沈積到元件的大規模生產,這種反應堆確保了各種材料的精確度和高質量的結果。憑借其穩健的設計、最佳的性能和高端的控制設備,CONCEPT 2是眾多工業運營的理想選擇。
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