二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9188218 待售

NOVELLUS CONCEPT 2是一種等離子增強化學氣相沈積（PECVD）反應器，旨在提供卓越的設備性能。它是一種高度先進的自動化工具，適用於沈積各種材料，銅、鉻和鋁就在其中。CONCEPT 2配備了多個主動區源，產生高效、可控和清潔的沈積過程。使NOVELLUS CONCEPT 2性能與競爭產品脫穎而出的關鍵特點是其極高的過程重復性和統一性。這是通過使用兩個獨立操作的基於TEM單元的源來實現的,這些源經過精確調整以始終保持高工藝精度。該系統是基本安裝的,這是一個可升級的平臺,可為用戶添加功能和特性,以滿足特定的應用程序需求。它具有緊湊、符合人體工程學的設計,允許在有限的空間內進行安裝和操作。CONCEPT 2能夠支持範圍廣泛的高級應用，從單晶圓到高吞吐量的生產應用。該系統包括反饋控制和監測設備，以確保可重復性和高產率。自動控制和監測設備監測和測量沈積速率、溫度變化和氣流；提供業界最高級別的工藝性能和參數控制。它配備了Advanced Gas Distribution（AGD）技術，這是NOVELLUS獨有的技術，精確控制反應氣體向基板表面的輸送，比傳統的氣體輸送系統允許更多的均勻性和控制性。NOVELLUS CONCEPT 2能夠提供統一和可重復的結果,利用低熱預算沈積.這是由於CONCEPT 2通過AGD技術提高了工藝控制,並實現了精密沈積速率控制,該功能允許用戶在單次運行中以驚人的精度和可重復性調整沈積速率,以避免蒙版邊緣塗層,並提供極好的縱橫比填充和最小的頂夾陰影。NOVELLUS CONCEPT 2是一款下一代的全自動工具，與競爭產品相比，提供卓越的性能和精確的控制。自動化的過程監測、控制和反饋系統使CONCEPT 2成為高級沈積應用的理想選擇，具有很高的可重復性和高產率。