二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9206050 待售

NOVELLUS CONCEPT 2是一種高性能、等離子體增強的化學氣相沈積（PECVD）反應器，設計用於先進的薄膜制造。CONCEPT 2反應器采用專利的濺射增強淋浴頭設計，在大型基板上提供高度均勻的薄膜沈積。濺射增強型淋浴頭設計還允許以比傳統淋浴頭更高的速率沈積較厚的薄膜。NOVELLUS CONCEPT 2反應器具有較大的工藝室體積，能夠沈積高通量的較厚薄膜。CONCEPT 2反應堆是一個兩區系統，包括一個主腔室和一個底物接收部分，通過一個過程通道與反應腔室相連。工藝通道提供了從反應室到底物接收部分的連續的工藝氣體流動。NOVELLUS CONCEPT 2反應堆裝有高頻雙頻射頻源，向反應室內的底物和加工氣體提供能量。雙頻射頻源提供了針對不同薄膜工藝調整等離子體參數的能力。CONCEPT 2反應堆配置性強，可針對特定工藝量身定制。它能夠處理直徑達300毫米的晶片，是3D-IC應用的理想選擇。反應堆在控制工藝氣體濃度和射頻功率水平方面提供了靈活性。一種具有反饋控制的專利氣體歧管系統，可以快速、精確地調節氣體流量和氣體在反應室內的停留時間。NOVELLUS CONCEPT 2反應堆旨在滿足現代IC技術日益增長的需求。其高吞吐量和靈活性，加上豐富的配飾系列，使其成為各種薄膜應用的誘人選擇。CONCEPT 2提供了獨特的功能來優化高級工藝性能,從而能夠制造出性能卓越的高性能設備和電路。NOVELLUS CONCEPT 2是一款可靠、經濟實惠的工具，在半導體應用方面占地面積很小。它提供了高度自動化的精密過程控制，高質量的沈積，和過程的統一性。其先進的計量和診斷能力最大限度地提高了過程的穩定性和效率。此外,它的低成本維護和長壽命使其成為長期項目的一個有吸引力的選擇。CONCEPT 2是先進薄膜沈積的強大工具，是當今半導體行業工業制造的理想選擇。