二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9235678 待售

NOVELLUS CONCEPT 2是用於半導體工業的化學氣相沈積（CVD）反應器。它是一種單晶片、批處理、多室CVD反應堆，其設計目的是為了實現快速的工藝開發、工藝鑒定和高通量的生產。CONCEPT 2由於其獨特的多室結構和廣泛的腔室兼容過程氣體，使沈積過程具有靈活性和選擇性。NOVELLUS CONCEPT 2為半封閉兩區設計。主室由一個底室和一個頂室組成。頂室是主加工室，在這裏進行CVD處理。兩臺氣體路由器可將多種保形過程氣體引入頂室，從而對腔內的化學成分進行極其精確的控制，並在沈積過程中調節晶圓的溫度。底腔內充滿了水分交換氣體，設計用來反向給腔室充電，以防止氧化和顆粒堆積。CONCEPT 2配備了一系列機器人功能。機器人臂設計用於將基片晶片從一個腔室移動到下一個腔室，將其引入頂部腔室，並引入和移動氣體管線、襯管、加熱器、屏蔽等其他部件。機器人還被設計為能夠模仿非對稱運動，從而增加了化學通量和過程的靈活性。NOVELLUS CONCEPT 2反應堆裝有先進的過程控制系統（APC）。APC可以編程為晶圓、機械臂和加工氣體的精確運動。APC還監測反應堆內和過程氣體如溫度、等離子體壓力和流速的狀況。這種控制允許過程參數的高度精度，提高了CVD過程的速度和質量。總之，CONCEPT 2反應堆是一種獨特的設備，設計用於控制化學氣相沈積過程的溫度、速度和精度。其雙區設計和先進的工藝控制系統，使工藝快速發展，工藝資質和高吞吐量生產成為可能。