二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9251350 待售

NOVELLUS CONCEPT 2是一種流行的多站CMP（化學機械拋光）反應器，旨在提供改進的拋光性能和高通量，同時降低整體成本。CONCEPT 2是為半導體生產而開發的，並廣泛應用於半導體生產，因為它結合了拋光室、載流子系統和現場監控，以最大限度地提高工藝效率。NOVELLUS CONCEPT 2被設計為全功能的CMP反應堆，提供多種特性和能力來優化拋光性能。CONCEPT 2利用稱為TrimodalTM的氣體水平流和漿液流的組合來提高過程的均勻性和減少化學消耗。此功能允許針對每種拋光配方或應用的特定過程優化氣體、漿料和壓力水平的單獨設置。此外,標準的調制負載控制（MLC）功能可優化拋光過程中晶片上的壓力分布,以確保單個晶片以及整個生產批次的表面均勻性。NOVELLUS CONCEPT 2的核心是它的控制系統。這包括了最先進的CMP配方，可以通過串行控制總線方便地從一個站點轉移到另一個站點，控制系統能夠監測到力、轉速、溫度和壓力等因素。它還對對於成功拋光至關重要的參數（如薄膜厚度、表面粗糙度和均勻性）使用參數反饋。CONCEPT 2反應堆作為首屈一指的CMP反應堆之一贏得了半導體應用行業的地位。它提供可靠、高效和經濟高效的拋光性能,並有可能將CMP成本降低30%。其高級功能與卓越的性能相結合,使其成為大多數生產運行的理想工具。