二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9251351 待售

NOVELLUS CONCEPT 2是為半導體制造而設計的化學機械平面化（CMP）反應器。與其他CMP系統相比,它是一種先進的工具,可提高性能和生產率。它用於在半導體晶片上創建高度均勻且平整的表面,從而確保最終產品的適當電氣連接。CONCEPT 2反應器利用旋轉墊頭在晶圓和拋光墊之間建立一致的接觸水平。這使得晶圓表面的拋光更加均勻。反應堆還采用了改進的輸水設備，進一步提高了拋光工藝的均勻性。輸水系統將平面化率提高到40%，可以根據應用情況進行調整。此外，新反應堆的噪聲水平大大降低，熱管理單元效率更高，有助於延長部件壽命。NOVELLUS CONCEPT 2反應堆利用傾斜校正、各種壓力控制、先進反饋調節等多種精密特性，提高了表面均勻性，降低了擁有成本。傾斜校正功能確保晶片的底壓在整個拋光過程中保持一致。壓力控制系統允許精確控制施加到晶圓上的壓力量。這個參數可以調整，避免產生熱點，減少晶圓損傷，提高拋光效果。先進的反饋調節機監控工藝參數，允許對拋光工藝進行實時優化。除了先進的技術CONCEPT 2反應堆提供外，它也比其他CMP反應堆更有效率。改進的熱管理工具、先進的噴嘴設計和優化的過程控制有助於降低產品溫度和減少材料損失。這導致更快的周期時間和更高的收益率。NOVELLUS CONCEPT 2反應堆還提供優越的用戶控制和診斷能力。反應堆與先進的過程控制和生產管理系統兼容，允許用戶密切監視反應堆的運行，糾正可能出現的任何問題。總體而言，CONCEPT 2 CMP反應堆提供了改進的性能、更高的效率和改進的用戶控制能力。該反應堆采用的先進技術使其成為滿足半導體生產復雜需求的理想選擇。