二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9262616 待售

NOVELLUS CONCEPT 2反應堆是一種最先進的生產工具，專門設計用於增強半導體芯片制造的金屬沈積工藝。該反應器最適合窄間距至中間距銅RDL（重分配層）和多介電材料（MDM）沈積。這種類型的沈積是先進微芯片設備制造過程中的關鍵步驟。CONCEPT 2反應器具有獨特的工藝室，對工藝施加苛性泵壓力，以及優化沈積均勻性和階梯覆蓋率的管狀背面操作環境。該室還裝有低壓蒸氣設備，用於安全高效地控制工藝溫度。該系統有助於確保整個沈積過程的均勻性和可重復性。NOVELLUS CONCEPT 2還包括一個集成的高級工藝控制單元，用於監控和調節整個基板上的壓力、溫度、供氣和其他參數，以確保最大程度的工藝控制。此功能可確保保持一致的高質量礦床,且變化最小。CONCEPT 2包括內置變頻發電機，提供可調頻率、多頻操作和高速工頻切換能力。該發生器產生一個脈沖射頻能量場，有助於提高沈積過程的性能。NOVELLUS CONCEPT 2能夠自動化惰性氣體操作，確保對整個基板統一的氣體負荷和壓力控制，以及單獨控制內部噴射器高度和段溫度。此功能可精確控制流程,並有助於確保性能一致。CONCEPT 2還提供高效的粒子捕獲技術，提高沈積過程中的粒子性能，增加循環時間。該反應堆采用非接觸式隔振機，將振動與基體隔離，提高了通量和均勻性。最後，NOVELLUS CONCEPT 2反應器是一種先進的生產工具，旨在提高半導體芯片制造的金屬沈積工藝。反應堆的集成過程控制工具、變頻發生器、惰性氣體操作、粒子捕獲技術都有助於增加循環時間，提高過程性能和控制。