二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9281499 待售

NOVELLUS CONCEPT 2設備是一款高度先進的工業級沈積處理器，旨在滿足尖端制造工藝的需求。該系統采用模塊化設計，為用戶提供支持任何先進沈積過程所需的資源，包括保形塗層、原子層沈積、真空過程和物理氣相沈積等現象。CONCEPT 2反應器由四個主要子系統組成：一個氧化還原單元、一個真空泵單元、一個熱單元和一個工藝室。氧化還原池由目標和基板兩個表面組成。目標是要沈積材料的表面，而基板是基面。借助加熱元件，氧化還原池允許在目標和基板表面均勻處理材料。真空泵機器通過在反應室內保持適當的壓力以及幫助創造近乎完美的真空來幫助確保一致的工藝性能。這個工具使用了一系列的泵從低溫到渦輪泵，以確保正確的結果。熱裝置在加工過程中提供準確一致的溫度控制。該資產使用紅外激光檢測基板溫度，允許精確控制加工區域的溫度。最後，利用工藝室將物料沈積到目標和基材上。這一過程涉及創建一個等離子體，其中含有精確測量的反應性氣體和能量，然後激發材料顆粒並使其沈積到表面。該室還包含一個單獨的模型，稱為劑量室，用於添加和控制促進該過程所需的各種氣體。最後,NOVELLUS CONCEPT 2是一款功能強大的工業級沈積處理器,可幫助滿足對高級沈積過程的需求。利用其模塊化設計,此設備可以提供廣泛的功能和功能,使用戶能夠從其制造過程中獲得最佳效果。