二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9315487 待售

NOVELLUS CONCEPT 2反應器是一種環保的反應性離子蝕刻設備，旨在提供高密度等離子體的精確蝕刻能力。反應物氣體被加熱使組成等離子體的氣體電離，使氣體加速走向金屬表面。當反應物離子撞擊金屬時，各個離子的能量被消耗掉，以去除表面的金屬原子。此外，這使得對蝕刻工藝的高度控制能夠創建一個統一的基板。這是CONCEPT 2解決方案所采用的方法。NOVELLUS CONCEPT 2系統使用戶能夠實現更高的生產率、更長的運行時間和改進的過程控制。它能夠處理任何厚度的層,從薄膜到較厚的結構。流速可以按順序進行精細調整,以創建所需的蝕刻結構。該單元包括幾個功能,這些功能旨在保護環境並確保操作過程中的最高清潔度。這包括一個空氣回收機過濾掉任何顆粒，在進料點的第二個壁防止任何反應物泄漏到外部環境，以及一個專用的排氣線，引導任何反應遠離生產區域。CONCEPT 2工具被設計為非常高效，提供的處理步驟比其他RIE系統少30%。整個資產（包括電源和控制器）的大小適合應用程序,因此用戶可以根據需要自定義其設置。該模型還包括一個可選的Current Tuning功能,允許用戶調整電源設置以達到理想效果。這是一個有用的功能,因為它可以節省時間並提高設備性能。NOVELLUS CONCEPT 2還附有全套控制功能。這些功能使用戶能夠精確控制工藝參數,如蝕刻速率、溫度、氣流和壓力。此外,還可以通過圖形用戶界面遠程監視和調整系統。這樣可以確保以一致的方式實現所需的蝕刻結果。總體而言,CONCEPT 2是一個功能強大的蝕刻單元,提供精確和高級的控制功能。NOVELLUS CONCEPT 2通過顯著減少處理步驟和強大的安全協議,非常適合各種應用,從薄膜蝕刻到先進的設備制造。