二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9315488 待售

製造商
NOVELLUS
模型
CONCEPT 2
ID: 9315488
CVD System, 8" Mainframe Wafer type: Notch System and module controller: MC1 SSD Index robot: Type II Magnetron 7 Transfer robot Endpoint detector Sequel chamber: Sequel express DLCM: S1253 Process type: SION IOC Version: 4.2 Gas box configurations: Gas line / Gas flow (SCCM) / MFC Make / MFC Model SiH4 / 750 / HORIBA / Z512 N2 / 5000 / UNIT / UFC1661 SiH4 350 HORIBA / Z512 He / 10000 / UNIT / UFC1661 NH3 / 10000 / UNIT / UFC1661 He (Aux) / 1000 / UNIT / UFC1661 NF3 / 5000 / UNIT / UFC1661 N2O / 20000 / UNIT / UFC1661 N2 / 12000 / UNIT / UFC1661 CO2 / 20000 / UNIT / UFC1661 CE Marked 2001 vintage.
NOVELLUS CONCEPT 2反應堆是一種先進技術的化學蝕刻設備,通過提供高水平的工藝控制和生產率滿足制造業的需求。創建這一非常成功的蝕刻系統是為了提供最高級別的生產力、精確度和質量保證。它基於強大的設計,結合了NOVELLUS Concept 1 tm功能集的高級功能以及其他最先進的技術。CONCEPT 2反應堆是一個集成的化學蝕刻單元,包括多種功能,旨在提供卓越的工藝控制和生產率。該機器利用高級工程功能,旨在確保每個陣列位置的蝕刻深度一致,並支持最復雜的蝕刻操作。它的反饋環路控制工具提供了更高水平的過程控制和準確性,使其能夠滿足生產和原型的嚴格要求。NOVELLUS CONCEPT 2反應堆設計為在10°至80°攝氏度的溫度控制環境下運行,非常適合與多種基板一起使用,如矽、鎢、金等。該反應堆還包括激光探測資產,用於識別和防止損壞被蝕刻的材料。該模型還包含了旨在提高生產率的各種工藝能力,例如可調功率水平高達2000 W,優化了詳細蝕刻工藝參數,能夠將蝕刻參數從一個作業轉移到下一個作業,並支持每個腔室多個樣品。該設備的先進特點還包括能夠精確控制基板的原位溫度。此外,CONCEPT 2反應堆具有廣泛的安全特性,如緊急停止按鈕、互鎖觸點、過溫控制系統等。反應堆還利用了一系列化學輸送系統和傳感器技術,用於精確計量和監測蝕刻工藝。這種高度先進的蝕刻系統旨在提供最高水平的生產率和精確度,同時確保產品的質量和安全性。NOVELLUS CONCEPT 2反應堆結合了這些尖端特性和卓越的工藝控制能力,適用於任何生產環境。
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