二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9316802 待售

NOVELLUS CONCEPT 2是一種化學氣相沈積（CVD）反應器，設計用於沈積氮化矽、氧化矽和其他介電和屏障膜。用於銅互連、擴散屏障、保護層等半導體器件制造工藝。CONCEPT 2反應堆憑借其創新的設計和高質量的部件，能夠提供優於傳統方法的性能和可靠性。NOVELLUS CONCEPT 2反應堆利用矩形反應室、晶圓船基板架和先進的氣體輸送系統提供有效的CVD工藝。該系統采用先進的軟件包和控制器,以最大限度地提高CVD處理效率。CONCEPT 2反應堆裝有三電極磁控管濺射源、直流等離子體源、低壓（LV）源和高壓（HV）源。磁控管濺射源提供均勻的氮化物和氧化物薄層沈積，而直流等離子體源用於氮化物和氧化物的平面化層。LV和HV源提供了額外的功能，包括等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）、矽化和離子鍍層。為了保護底物不受汙染，NOVELLUS CONCEPT 2 CVD反應堆設計有幾個特點，確保了清潔和均勻的沈積。首先，專有的Jetfilm保護模塊將沈積過程與室內汙染物隔離開來，防止含氟物質回流。反應堆還采用高效過濾升降機、低溫晶片加載系統和耐腐蝕加熱器，以最大程度地減少室內的雜質堆積。CONCEPT 2進一步設計為具有高精度自動化和控制功能,以幫助確保可靠的過程性能。它提供了一個健壯準確的晶圓船定位系統，先進的配方執行能力，和幾個特點，以確保沈積過程的一致性和可重復性。NOVELLUS CONCEPT 2反應堆是一種高度通用的工具，能夠滿足任何器件在電介質和屏障方面的尖端應用要求。