二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9408537 待售

NOVELLUS CONCEPT 2是一種化學氣相沈積（CVD）反應器，設計用於大體積制造薄膜沈積工藝。特別適用於半導體工業中的多層薄膜應用。CONCEPT 2利用具有許多獨特功能的動態處理技術來提供業界領先的性能。NOVELLUS CONCEPT 2的結構是一個單件的不銹鋼建築容器，內襯腐蝕性的「解決方案」，提供高效、經濟高效的處理。反應堆利用獨立的加熱區實現材料的高效、可重復的加工。每個區域都有獨立的供暖和制冷能力，以提供精確的過程控制。CONCEPT 2還具有閉環反饋設備，能夠實時控制沈積過程。該系統可以精確控制腔室內的溫度和壓力，並利用原位沈積速率監測器，能夠精確控制沈積速率。NOVELLUS CONCEPT 2反應器確保最佳的腔室保護，以保持清潔和防止任何汙染腔室表面。它有兩個隔離閥，兩個O形環，兩個膜隔離密封，將腔室與外界大氣隔離，以及特殊的粉塵發射單元，以降低操作過程中產生的粉塵和顆粒的水平。CONCEPT 2為可重復和可靠的結果提供了非常精確的過程條件。它自動監控機器壓力、溫度和其他參數，確保沈積精度和產量的正確條件。它采用多區域體系結構對沈積速率進行統一和精確的控制。該工具還具有實時數據反饋功能，可實現比其他CVD反應堆技術更精確的控制。此外,NOVELLUS CONCEPT 2還具有易於操作的功能,可確保資產的經濟性和高效率運行,而且維護最少。這包括自動晶片裝卸、溫度和壓力控制系統以及內置的原位速率監測器。此外,CONCEPT 2與幾種不同的源代碼技術兼容,提供了令人難以置信的多用途功能。總體而言，NOVELLUS CONCEPT 2反應器是精確、可重復、可靠的薄膜沈積工藝的絕佳選擇。其動態處理技術、優越的腔室保護、獨立的加熱區和實時反饋系統，使其成為半導體行業大批量應用的理想選擇。