二手 NOVELLUS Concept 3 Altus #293638913 待售

NOVELLUS Concept 3 Altus是一種為半導體生產而設計的化學氣相沈積（CVD）反應器。它采用等離子體增強熱工藝，將多種介電和金屬膜沈積在半導體晶片等基板上。Altus集成了先進的功能,以提高性能、蒸汽輸送和均勻性,從而實現薄膜的精確分層。Altus由一個射頻源提供動力，該射頻源在反應堆腔內維持一個氙或氦基等離子體。底物暴露在微波中，產生蒸發的熱量，並將前體分解成超原子大小的分子。這些超級原子在加熱的基板上傳播，附著在先前沈積的原子上，形成均勻厚度的薄膜。Altus提供先進的工藝參數控制，提供脈沖進料和可調偏壓，提供精密蝕刻，提供均勻的薄膜沈積，並提高了吞吐量。快速前體交換也將不同序列之間的汙染降至最低。Altus還擁有獨特的腔室設計,可實現更好的均勻性,並配有快速更換的畫筆組件,用於精確清潔。Altus具有多種安全功能,可保護系統免受過熱和用戶的潛在危害。它有一個帶有模擬和數字輸入和輸出的CPU控制系統，以便於集成到現有的系統和應用程序中。此外，該裝置通過先進的多頭機械臂進行操作，以提高準確性和靈活性。概念3 Altus非常適合半導體生產行業的先進和苛刻的應用，提供高效、均勻的薄膜沈積、先進的清潔和安全能力以及先進的層級和工藝控制。這座可靠且用途廣泛的反應堆是工廠和其他生產設施的巨大投資。