二手 NOVELLUS Concept 3 Altus #293763440 待售

NOVELLUS Concept 3 Altus是一種PECVD（等離子體增強化學氣相沈積）設備，用於多種材料的沈積，用於一系列應用。該系統采用一種稱為三區微波反應堆的設計，其工作原理是有三個由有穿孔的墻壁隔開的區域。在第一個區中，初始等離子體被點亮，氣體混合物向第二個區中的底物加速，稱為反應區。最後，使用中和區防止任何反應發生在主環流區外。該單元用於生產半導體芯片的電子元件。它被設計為在使用多種材料的同時高效地制造金屬氧化物矽（MOS）裝置，如矽、碳、氮、硫和氫。所有這些材料都可以在機器中使用，這為設備的設計提供了靈活性。概念3 Altus是一種高度可靠的工具。這得益於它使用了三個腔室，其中兩個專用於氣體循環，一個專用於等離子體放電。這種設計還確保了資產具有極其均勻的溫度，從而確保用於制造設備的材料是一致的，並導致高質量產品的生產。該模型還具有一系列安全特性，以確保反應堆及其處理的材料保持安全。設備的控制系統是高度先進的，並且經過了設計，以確保設置過程可以很容易地再現。這有助於提高產量和生產率。該單元還具有自動校準功能,這意味著可以記錄對過程的任何更改,以便將來使用這些更改。這減少了進行調整所浪費的時間,並降低了生產運行之間出現差異的風險。總體而言，NOVELLUS Concept 3 Altus是一種先進可靠的PECVD機器，用於多種材料的沈積，高度可靠。它提供了一系列功能,旨在提高工藝效率和可控性,並確保生產的產品質量最高。