二手 NOVELLUS Concept 3 Altus #293767143 待售
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ID: 293767143
優質的: 2006
WCVD System
Chamber position / Gases
Unit 1 / WF6, AR, NF3, SIH4, H2, B2H6, N
Unit 2 / WF6, AR, NF3, SIH4, H2, B2H6, N2
2006 vintage.
NOVELLUS Concept 3 Altus是來自NOVELLUS Systems的高性能、工業規模的化學反應堆。它是一種靈活的工藝解決方案,適用於各種行業的先進薄膜沈積應用,如半導體、平板顯示器和數據存儲。概念3 Altus執行熱CVD（化學氣相沈積）和ALD（原子層沈積），它們是用於在多個基板上創建精確、均勻的薄膜的過程。該反應堆采用模塊化設計，配有用於改進安裝和維護的預裝裝設備。可為優化性能調整動態清除控制。這座反應堆配備了幾個附加功能，以確保最佳的可靠性和性能。工藝進氣幹燥機是集成的，這提供了無顆粒的幹氣。VPS（真空壓力交換）技術支持多區域過程。它還有一個內置的快速加載鎖系統。NOVELLUS Concept 3 Altus反應堆有一個專有的低維護加熱單元。它利用電熱傳輸回路來降低基板上的熱應力。它還有一個特殊的熱剖面儀，它創建精確的溫度區精確匹配的工藝要求。此外,先進的電機控制技術可確保精確、精確和可重復的運動輪廓。概念3 Altus是同級中最先進的工業規模化學反應堆之一。它提供了最大的吞吐量、降低的成本和驚人的性能,從而使其成為一個競爭激烈的工藝解決方案,適用於卓越的薄膜沈積應用。它的先進技術和功能確保每次都有可靠和一致的流程。
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