二手 NOVELLUS Concept 3 Altus #9375599 待售

NOVELLUS Concept 3 Altus（C3A）是為半導體制造設計的行業領先反應堆。該C3A在受控材料性能和工藝參數方面提供了無與倫比的性能和多功能性。C3A有一個大的矩形腔室，能夠容納多達三個熱過程，這可能涉及幾個溫度、壓力、流量和其他過程條件。這些過程中的每一個都可以獨立控制。該平臺配有內置的交互式控制設備，具有廣泛的自動化功能，便於在室內設置和維護準確的條件。該C3A內部還包括一個雙炮塔系統，使多個化學氣相沈積（CVD）室能夠在同一單元內使用。這允許大型進程運行超出其他類似規模的系統可以實現的範圍。C3A的功能隨著智能腔室傳感技術的實施而進一步擴展。這項技術通過感測和監測腔室內的條件，幫助操作員實時調整工藝條件。這就產生了一種高度均勻的塗層，在大面積上的可重復性為±。該C3A還配備了熱排氣和壓降傳感器、內爆保護機、幫助小顆粒從腔室排出的冷卻熱平臺等幾個安全功能。這些安全功能有助於保護工具免受任何潛在的意外損壞。總體而言，概念3 Altus是一種革命性的反應堆資產，在半導體生產中提供可重復和統一的結果時，其多功能性和性能都不相等。憑借其廣泛的工藝條件、安全特性和Smart Chamber Sensing技術,C3A是一個經濟高效的解決方案,可以根據您的確切需求進行定制。