二手 NOVELLUS CONCEPT 3 INOVA-xT #9314932 待售
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ID: 9314932
晶圓大小: 12"
PVD System, 12"
Process: AL, TI(N)
EFEM:
Load port: (3) FOUPs
Interface: Right with keyboard, mouse and monitor
Wafer / FOUP: 25
BROOKS AUTOMATION ATM Robot
PEC Station
17-PEC Slots
Robot traverser
WTS-HV:
BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 Robot
Robot blade: Ceramic, dual
No SIOC
Cryo HUB
CTI-CRYOGENICS IS-8F (On-Board) Cryo pump
(6) VAT Isolation valves
No MC3 System controller
No MC3 Handler controller
Left and right load lock:
PFEIFFER TMH 071P Turbo pump
VAT Isolation valve
Left and right degas:
PFEIFFER TMU 521P Turbo pump
VAT Isolation valve
Cool:
PFEIFFER TMH 071P Turbo pump
Q300 AL and Q300 TIN:
No module controller
On-Board Cryo pump
VARIAN V250 Turbo pump
On-Board Controller
Trust controller
MKS 649 Pressure controller
LPB
SIOC
ESC Pedestal
MFC: Ar, 200 SCCM
MKS MFC: N2, 200 SCCM
AERA FC-980C: UPC (300 SCCM)
INFICON Ion gauge
Anafazer Module
HCM TI and HCM TAN:
No module controller
On-Board Cryo pump
VARIAN V250 Turbo pump
On-Board Controller
Trust controller
MKS 649 Pressure controller
LPB
SIOC
ESC Pedestal
MFC: Ar, 200 SCCM
MKS MFC: N2, 200 SCCM
MYKROLIS UPC: 300 SCCM
AERA FC-980C Ion gauge
Anafazer Module
Electric cabinet rack (Q300 AL):
TREK 684-1 ESC Power supply
CPI CPW2870B10 DC Power supply
Electric cabinet rack (Q300 TIN):
No ESC power supply
CPI CPW2870B10 DC Power supply
(2) Electric cabinet racks (HCM):
TREK 684 ESC Power supply
CPI CPW2870B10 DC Power supplies
(8) SORENSEN DLM 60-10 EM Coil power supplies
Miscellaneous parts:
AFFINITY EWA-23DK-HE04CBC Chiller
(3) POLYCOLD 1XCL Chillers
No SPUD gas box
Vacuum jacket lines
Cable box
Shield box
Spare parts
Desktop PC
Missing parts:
MC3 Controllers for system and module
(2) MDC KAV-075-P Angle valves
VARIAN TV250 Pump
(4) Z-Table movement controllers, P/N: 19-131418-00
CTI-CRYOGENICS Roughing valve, P/N: 8112579G003
(2) ADVANCED ENERGY RFG 1251 RF Generators, P/N: 27-156759-00 / 3155107-101
VERIFLO SQMICRO302PFSFF Manual valve, 1/4 VCR, 2 way female
(4) CTI-CRYOGENICS 9600 Compressors
BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 Robot.
NOVELLUS Concept 3 Inova XT是一種最先進的反應堆，設計用於制造集成電路。該反應器通過使用先進的高溫過程，如化學氣相沈積（CVD）、原子層沈積（ALD）和物理氣相沈積（PVD），可以實現優越的薄膜沈積。它能夠沈積廣泛的材料，包括銅、鈦、鋁和矽氧化物，從而可以用於創建多種不同的組件。該反應堆由三個主要部件組成：等離子體源、主室和排氣塔。等離子體源引導高能分子的來源，這些分子導致過程室內的氣體原子電離。這允許與正在加工的材料發生反應。主室容納正在加工的材料，並控制設備的溫度和壓力。排氣塔有助於防止汙染物顆粒遠離反應和任何正在處理的材料。概念3 Inova XT具有極其精確的過程和極好的可重復性。其多區控制有助於實現均勻沈積，而不會在整個工件上造成任何汙染問題。它可以針對各種工藝參數進行編程，從而能夠選擇最佳工藝設置以獲得最大的薄膜性能。該反應器的主室具有高溫絕緣，可提供優異的熱效率以及整個室的熱均勻性。這有助於確保溫度保持在最佳操作參數之內。該室還配備了自動跟蹤系統，可在處理過程中精確控制氣體和目標材料在室內的位置。這允許優化的過程可重復性。此外,NOVELLUS Concept 3 Inova XT還配備了實時監控單元,可實現閉環過程控制。總體而言，Concept 3 Inova XT是一種高度先進的反應堆機器，它為銅集成過程和其他一些相關過程提供了卓越的薄膜沈積能力。其高溫、多區控制在整個過程中提供均勻的沈積和優異的熱效率。它還能夠實時監控整個過程,從而實現優化的過程重復性,並能夠選擇最佳設置以實現最大的薄膜過程性能。
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