二手 NOVELLUS Concept 3 Inova #293638673 待售

NOVELLUS Concept 3 Inova是一種晶體化學氣相沈積（CVD）反應器，用於化學物種沈積在基質上。沈積過程通常在真空室中進行，是制造各種半導體和相關材料的理想選擇。概念3 Inova CVD反應器的目標是能夠在相對較低的溫度下沈積低缺陷密度、均勻沈積的高質量材料。Inova有兩個源兩個淋浴頭模塊化設計，具有自動入口和出口，從而實現了比傳統反應堆更高的吞吐量。它靈活的模塊化設計允許垂直和水平晶圓方向，以及各種氣體輸送和排氣系統。憑借其創新的設計，Inova能夠運行各種流程集成配方。CVD反應堆利用多種工藝氣體，具有極好的溫度控制範圍，可以調整以最大限度地提高沈積材料的質量。NOVELLUS Concept 3 Inova適合於工藝優化，因為它配備了石英入口窗口、先進的加熱系統以及其他確保給定工藝最佳溫度範圍和均勻性的專用硬件，不需要進一步的工藝調整。此外,它的多重電極設計、自動加載和卸載以及自動化功能使客戶能夠根據需要定制工藝配方。Inova CVD反應器設計用於材料的大面積/小面積沈積和保形沈積，用於各種光電、納米加工和MEMS應用。憑借高溫能力、實時端點檢測和質量控制等先進功能，Inova是需要高性能CVD反應堆的客戶的理想選擇。該系統配備了Direct Drive Showerhead，允許精確的過程控制和快速的響應時間。它還具有完全的原位清潔能力，能夠實現卓越的膜質量和沈積均勻性控制。總體而言，Concept 3 Inova是一個先進的CVD反應堆系統，提供卓越的沈積性能和卓越的質量控制能力。該反應堆用途廣泛，具有很大的靈活性，是各種半導體和先進材料沈積應用的理想解決方案。