二手 NOVELLUS Concept 3 Inova #9259672 待售
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ID: 9259672
晶圓大小: 12"
優質的: 2000
PVD Systems, 12"
Process: MPD (WTS-HV)
(4) Chamber: Q300 AL, Q300 TiN, (2) TiHCM
EFEM:
Load port: (2) FOUPs
Right with keyboard, mouse and monitor
Clean room wall interface
Wafer / FOUP: 25
BROOKS AUTOMATION ATM Robot
PEC Station
17-PEC Slots
ATM
WTS-HV:
(2) BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 Robots
Robot blade: Ceramic, dual
SIOC: 0-4
Cryo HUB
IS-8F (On-Board) Cryo pump
(6) VAT Isolation valves
No MC3 System controller
No MC3 Handler controller
Left and right load lock:
TMH 071P Turbo pump
VAT Isolation valve
Left and right degas:
TMU 521P Turbo pump
VAT Isolation valve
Cool:
TMH 071P Turbo pump
Q300 AL and Q300 TIN:
No module controller
On-Board Cryo pump
V250 Turbo pump
On-Board Controller
Trust controller
MKS 649 Pressure controller
LPB
SIOC
ESC Pedestal
MFC (Ar, 200 SCCM)
MKS MFC (N2, 200 SCCM)
AERA UPC (300 SCCM)
INFICON Ion gauge
Anafazer Module
(2) HCM TI:
No module controller
On-Board Cryo pump
V250 Turbo pump
On-Board Controller
Trust controller
MKS 649 Pressure controller
LPB
SIOC
ESC Pedestal
MFC (Ar, 200 SCCM)
MKS MFC (N2, 200 SCCM)
MYKROLIS UPC (300 SCCM)
MYKROLIS Ion gauge
Anafazer Module
Electric cabinet rack (AL / TIN):
TREK 684-1 ESC Power supply
CPW2870B10 CPI DC Power supply
Electric cabinet rack:
TREK 684-1 ESC Power supply
(2) CPW2870B10 CPI DC Power supplies
(8) DCS80-13E EM Coil power supplies
Miscellaneous parts:
AFFINITY EWA-23DK-HE04CBC Chiller
POLYCOLD PGC-150 Chiller
POLYCOLD 1XCL Chiller
CTI 9600 Compressor
SPUD Gas box
Vacuum jacket lines
Cable box
Shield box
Spare parts
Missing parts:
MC3 Controllers for system and module
MKS 651D-16202 Throttle valve controller
(4) Z-Table movement controllers, P/N: 19-131418-00
POLYCOLD 1XCL Closed loop gas chiller
VAT Valve, P/N: 07512-UA24-0001
TMP Controller, P/N: 19-126817-00 Rev B and 88-30620-000
CTI-CRYOGENICS Controller, P/N: 823247G001
(2) ADVANCED ENERGY RFG 1251 Generators
VERIFLO SQMICRO302PFSFF Manual valve, 1/4 VCR, 2-way female
(3) CTI-CRYOGENICS 9600 Compressors
MAG7 Robot
2000 vintage.
NOVELLUS Concept 3 Inova反應堆是一種高通量、連續流動的反應堆設備，用於合成精細化學品。它設計用於研發和擴展應用。該系統可用於合成一系列化合物，包括藥品、農用化學品、香料和香料以及聚合物。該裝置采用三級連續流動反應堆設計，能夠可靠一致地合成各種材料。第一階段是註塑反應器，其中混合了含有反應物和催化劑的加熱液流。加熱器監視流的溫度，可以將流加熱到50-400°C之間的溫度。第二階段是攪拌容器，在其中發生均質混合，以允許反應物的高效和完全轉化。第三階段是分離收集反應產物的分離器。概念3 Inova反應堆設計具有多種安全功能，包括車載氣體監測機、萬一超壓自動關閉、危險氣體自動鎖定和緊急關閉裝置。反應堆還配備了基於計算機的控制工具，可以對資產參數進行監測和控制。它可以與計算機或可編程邏輯控制器（PLC）連接，以進行高效的過程監控、控制、自動化和數據記錄。反應堆還配備了可用於控制反應溫度的電加熱器。該加熱器可在-50至+250°C的範圍內調節。此外，該模型設計為與多種催化劑一起使用，可以適應反應條件和操作變量的變化。為了減少清理反應堆所需的時間和精力，NOVELLUS Concept 3 Inova反應堆采用了自動清洗系統。這些系統采用機械和化學處理方法相結合，自動徹底清潔反應堆腔室。所需的清潔時間最多可減少90%，從而加快了工藝周期的完成率。Concept 3 Inova Reactor是在研究、開發和擴展應用中產生小分子和精細化學物質的高效且具成本效益的工具。它的三級連續流動反應堆設計、安全特性、基於計算機的控制設備和自動清洗系統都有助於系統的效率和有效性，使其成為許多應用的首選。
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