二手 NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9167157 待售

NOVELLUS Concept III Speed Max是一種高性能的垂直化學氣相沈積（CVD）反應器，設計用於半導體工業中的薄膜沈積。它是一個高生產力、可擴展和可配置的平臺。該反應堆能夠進行從金屬到多晶矽的各種沈積過程，並且能夠以行業領先的沈積速率進行。NOVELLUS Concept III Speed Max是在用戶心目中設計的。該平臺在多種操作條件下易於配置、維護和操作。它具有全自動腔室、可調氣流和壓力以及運動學連桿裝置，可實現高度精確和可重復的工藝參數。腔室還設有流式氣體輸送系統，有助於消除手動閥門維護。NOVELLUS Concept III Speed Max為用戶提供了以高通量和高選擇性同時存放多達五種不同材料的能力。該腔室還被設計為能夠以高通量速率沈積均勻厚度的薄膜。此外，反應堆設有可調節的基板支架，可以調整以適應不同的晶圓尺寸，並包括一個可調節的反應區，為每種材料精確調諧，以確保腔室在峰值性能運行。NOVELLUS Concept III Speed Max是一個多功能平臺,為各種應用程序提供高級CVD沈積。它具有一套性能和安全特性,使其成為薄膜沈積的最佳選擇。反應堆還提供了業界最高的吞吐量之一，為用戶提供了更快的周期時間，使他們能夠更快地達到他們的工藝目標。此外,NOVELLUS Concept III Speed Max為用戶提供了配置腔室的功能,以提供根據其特定應用程序要求定制的沈積配方和參數。總體而言,NOVELLUS Concept III Speed Max反應堆是一個高性能、通用且可配置的沈積平臺,非常適合各種薄膜沈積應用。它提供了廣泛的工藝功能,能夠實現多種材料的高吞吐量和選擇性。