二手 NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9235679 待售

NOVELLUS Concept 3 Speed Max （C3S Max）是在半導體工業中用於化學氣相沈積（CVD）處理的先進工具。這座反應堆設計為對具有出色均勻性的薄膜材料進行快速加工，並配備了多種不同的特性，有助於高效可靠地生產高質量的薄膜。C3S Max有多個核心元件，包括一個具有可旋轉基板傳輸的底層、其主腔室、可旋轉頂部電極以及控制器等其他元件。底層在頂部電極和底部電極之間傳輸基板，以形成薄膜。該腔室的設計效率很高，以便在生產過程中保持高吞吐量。它還包括薄膜沈積、退火、蝕刻、診斷、環境控制和配方控制等一系列特征。頂部電極是C3S Max設備的重要組成部分，負責提供創造薄膜所需的能量。電極被設計為可調節的，允許不同程度的功率和不同形狀的沈積膜。這允許根據應用要求生產不同厚度和形狀的薄膜。控制器是系統的命令中心，為操作員提供必要的工具來輸入配方，查看流程結果，監控單元，並根據需要調整參數，以優化性能。控制器還允許操作員輸入多個基板的配方，以便使機器自動化。總體而言，NOVELLUS C3S Max是生產高性能薄膜的先進工具。其各種組件的組合使操作員能夠制作出具有出色可重復性和均勻性的膠片,同時實現高效和可靠的生產,同時減少停機時間。該工具的可調參數也使得快速準確地調整膜厚度和形狀成為可能，使資產得以定制以滿足特定的應用要求。