二手 NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9281511 待售

NOVELLUS Concept 3 Speed Max是下一代先進的等離子體反應堆，專為先進的半導體器件制造工藝而設計。利用先進技術提供高均勻性和高吞吐量能力，滿足先進設備制造的嚴格要求。概念3 Speed Max利用低壓等離子體沈積（LPD）技術的最新進展，提供高工藝產量和重復性。NOVELLUS Concept 3 Speed Max的先進設計和工程使沈積膜在整個基板上的均勻性得到改善。概念3 Speed Max利用可變電離源技術來控制沈積過程，允許更高程度的均勻性和更高效的過程。此外,NOVELLUS Concept 3 Speed Max還集成了高速等離子體發生器,可實現更高效的過程和更高的吞吐量。該設計還使設備能夠精確掃描並根據不同的基板高度和表面拓撲進行調整,以最大程度地減少陰影。高速掃描儀允許在沈積階段更快地掃描整個基板，增加吞吐量和均勻性。最終結果是提高了設備生產率。此外,概念3 Speed Max中的氣體分配系統可確保對沈積過程的精確控制,在整個基板上提供均勻的表面特性。NOVELLUS Concept 3 Speed Max先進的現場監控能力進一步確保了精確的過程控制。先進的監控單元結合了一個帶有集成顯微鏡的車載攝像頭，在整個沈積過程中觀察基板表面。此監視機器提供了詳細的過程信息以及在制造階段檢測任何過程問題的能力,最大限度地減少了過程的可變性並優化了過程產量。Concept 3 Speed Max還采用了堅固的清潔和基板制備工藝以及自動晶圓夾持器技術,用於增強基板探頭的放置。這種多站自適應機器人確保精確的探針放置，並確保一致的晶圓奇異。先進的工藝控制包括化學配方綜合庫和機載實時校正和評估減少底物對底物的變化。此外,先進的工藝控制可確保整個晶片的薄膜厚度均勻。NOVELLUS Concept 3 Speed Max是一個最先進的先進等離子體反應堆，旨在提高工藝產量和均勻性，同時提高吞吐量能力。該工具所使用的先進技術，包括可變電離源、高速等離子體發生器、先進的原位監控、先進的工藝控制和自動化的晶片夾持器技術，為先進的設備制造提供了最佳解決方案。