二手 NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9352258 待售

NOVELLUS Concept 3 Speed Max反應堆是一種最先進的化學氣相沈積（CVD）設備，用於將材料薄膜沈積到基板上。該系統設計用於以高速率和均勻性沈積電介質、金屬和其他材料，允許生產高性能器件。該裝置采用多用途多區源技術，改進了基板參數的均勻性和控制。機器由一個由三個階段組成的單一、多合一平臺組成。第一級是射頻（RF）等離子體源，由等離子體放電源、多區RF電容耦合等離子體柵格和增強均勻性控制的多區磁體組成。第二級是CVD室，其中包含晶圓室加熱頭、沈積頭和苯基采樣器。晶圓室加熱頭用於加熱晶圓，以確保材料的均勻沈積。沈積頭包含工藝源，用於將材料以所需的速率引入腔室。苯基采樣器用於測量反應物濃度和監測沈積過程。射頻等離子體源、CVD腔和苯基采樣器協同工作，為Concept 3 Speed Max提供優化的沈積性能。整個工具設計用於高輸出率和高度均勻的薄膜沈積，允許特殊的過程可重復性和控制。此外,該資產還提供每晶圓不到一分鐘的周期時間,使其成為滿足各種生產需求的經濟高效的解決方案。NOVELLUS Concept 3 Speed Max是那些希望提高生產效率的人的絕佳選擇。其RF等離子體源、CVD腔、苯基采樣器的組合，提供了一個強大的平臺，通過薄膜的優越和受控沈積來實現高性能的器件。模型的循環時間、可控性、重復性和均勻性使其成為任何薄膜沈積情況下的理想解決方案。