二手 NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9389741 待售

NOVELLUS Concept 3 Speed Max是一款創新的設備，用於制造由薄膜材料組成的集成電路。該反應堆設計為在極薄層的金屬氧化物半導體（MOS）電路層中提供最高的性能和可靠性，用於超低泄漏、嵌入式內存和其他高性能組件等應用。Concept 3 Speed Max有三個獨立的模塊，可以獨立或組合運行。這三個模組分別是一個RIE（Reactive Ion Etch）模組、一個CVD（Chemical Vapor Deposition）模組和一個PECVD（Plasma Enhanced CVD）模組。RIE模塊用於以所需的形狀和圖樣蝕刻金屬氧化物層,以創建用於制造電路的特定薄膜特征。CVD模塊用於將各種類型的薄膜材料層層沈積，以創建光滑的表面，說明圖案，並控制材料的厚度。PECVD模塊用於薄膜材料的快速蝕刻和沈積，以及用於圖樣制作。NOVELLUS Concept 3 Speed Max具有先進的流程控制和監控系統,使用戶能夠優化其流程參數,實現更好的可重復性,並減少流程開發所需的時間。它還有一個射頻（RF）等離子體發生器，允許用戶同時處理各級層間電介質（ILD）。等離子體發生器提高了蝕刻和沈積過程的速度和精度。Concept 3 Speed Max是唯一能夠提供超低泄漏性能和最大薄膜層的設備。它非常適合生產高性能電路，在生產過程中具有2西格瑪的重復性。由優質材料制成，壽命長。其能源和資源得到最佳管理，以盡量減少其運作對環境的影響。NOVELLUS Concept 3 Speed Max是MOS電路層生產中唯一能將蝕刻沈積過程與超低泄漏性能相結合的蝕刻沈積系統。它為高性能組件的生產提供了高質量的性能和可靠性以及節省成本的優勢。利用先進的工藝控制和監測系統，用戶可以最大限度地提高這一創新反應堆的效率，同時最大限度地減少其環境足跡。