二手 NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9410799 待售

NOVELLUS Concept 3 Speed Max是一種先進的化學氣相沈積反應器，用於半導體制造。它旨在提供高性能和高吞吐量，以支持最先進的半導體技術。反應堆利用獨特的兩級多頻條帶設備，提供高水平的基板加熱均勻性，改善等離子體均勻性，增強工藝重復性。Concept 3 Speed Max具有模塊化體系結構,允許將其配置為各種晶圓尺寸和工藝要求。反應堆能夠維持各種氣體流動、溫度和壓力，從而對沈積過程進行最佳控制。此外,該系統還配備了實時溫度補償,以確保均勻的間隙填充和密度控制,以及自動晶圓傳輸技術,可減少交叉汙染並改善裝卸時間。NOVELLUS Concept 3 Speed Max具有全自動的端點檢測單元，提供更快的周期時間，同時增強可重復性。反應堆還有一個數據采集機，允許實時數據分析和過程優化。該工具還利用熱減震資產來改善前表面均勻性和防止熱點。這有助於減少應力引起的缺陷，提高設備的長期可靠性。所有這些特性使Concept 3 Speed Max成為最先進的反應堆之一。反應堆提供了無與倫比的性能和可重復性水平，這使得生產速度更快，產量更高，可靠性更好。此外,它還設計為完全可擴展且可根據每個用戶的需要進行配置。NOVELLUS Concept 3 Speed Max是一款功能強大的沈積解決方案,可幫助任何尋求高質量、高性能結果的半導體制造商。