二手 NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT #9170857 待售

NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT是為先進的薄膜沈積應用而設計的反應堆。該反應堆采用先進技術，可精確控制薄膜生長和保形塗層。概念3 Speed NEXT反應堆提供三個獨立的沈積區，以滿足各種需求和靈活的配置。反應堆的三個沈積區中的第一個是主要沈積區。這是一個低功率區域，可定制金屬沈積配方和保形塗層。主要沈積區包括獨特的工藝步驟組合，可以在優化膜厚度均勻性和步長覆蓋的同時進行精確控制。它具有微微/納米縮放沈積能力，能沈積/蝕刻屏障和附著層、源層和復雜的金屬結構。第二個沈積區，即表面處理區，提供了實時的表面修飾和附著層，以增強膜的生長性能。該區域具有反應性離子蝕刻、全表面處理、選擇性表面處理和沈積前表面處理等特點。它旨在在保持保形塗層特性的同時取得優異的效果。NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT的第三個和最後一個沈積區是高沈積區。該沈積帶提供了急需的高沈積速率，這允許了最苛刻的沈積要求。高沈積率區是為沈積厚膜而設計的，具有一致可靠的均勻性和階梯覆蓋率。概念3 Speed NEXT反應堆能夠處理各種薄膜沈積應用，從汽車部件到半導體、平板顯示器、光電、MEMS，以及醫療、航空航天和能源應用。反應堆提供了集成的薄膜架構，具有優越的工藝控制和均勻性，以最大限度地提高吞吐量和性能。它是尋求先進薄膜沈積應用的理想解決方案。