二手 NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT #9170858 待售

NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT是一種最先進的反應堆，用於在基板上形成超薄膜。這座反應堆基於3速循環法，設計目的是將CVD工藝縮短多達50%。它能夠在短短幾秒鐘內形成薄膜和臺階，從而節省時間和金錢。概念3 Speed NEXT反應堆由三個獨立的源和一個炮塔頭組成。這三種來源分別是氦氣、氮氣和移解氣。炮塔頭裝有三個靜電限制口，兩個用於應用電離等離子源，一個用於物種中和。等離子體源提高了反應速度，提高了膜的性能。三源概念的主要優點是薄膜厚度均勻，熱損傷減少，沈積參數完全控制。三速循環方法的工作原理是改變壓力、溫度和反應物濃度。這允許在很短的沈積時間內形成非常薄的薄膜或臺階。三速循環可確保薄膜均勻地沈積在整個基板上。這是通過三個源的平衡溫度分布、增強的反應物擴散以及對敏感底物的低熱損傷而得以實現的。NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT反應堆的設計是為了提高吞吐量，同時提高薄膜形成的整體質量。它具有較高的吞吐量能力,能夠更快地響應生產環境中不斷變化的需求。此外,它還提供了改進的工藝控制、均勻的薄膜厚度以及更好的晶片表面均勻性。總體而言，Concept 3 Speed NEXT反應堆是一個強大而靈活的工具，用於在先進的設備生產中創建高度均勻的薄膜和步驟。它提供了其他技術無法比擬的成本和時間效率。這使得它非常適合需要極高精度和可靠性的各種應用。