二手 NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT #9235680 待售

NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT是專門為先進半導體應用而設計的化學氣相沈積（CVD）設備。它為多晶矽、氧化矽等應用提供了終極的高通量解決方案。Concept 3 Speed NEXT反應堆集成了NOVELLUS最新的先進技術，包括獲得專利的刀片卡帶交付、機器人自動化以及多個溫度區功能。其創新設計確保了卓越的制造質量和成本效益。NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT包含低壓三速室、預熱室和帶4向閥的氣箱。低壓室配有高品質的加熱冷卻元件、超低熱漂移、低壓控制。金屬襯裏端口允許快速基板裝卸。預熱室提供額外的溫度控制，以確保最高的沈積速率。該系統通過多區加熱/冷卻卡盤和加熱/冷卻墻壁提供精確的溫度控制。它旨在提供對薄膜厚度、晶粒尺寸和工藝均勻性的精確控制。它還提供低壓輸送前體氣體，包括矽烷、六氟化硫和氦氣。位於機組中心的4向閥允許快速準確的前體輸送和快速的反應時間。Concept 3 Speed NEXT還配備了一系列高級數據系統,旨在實現最大吞吐量。其快速可靠的機械臂確保晶片快速高效的定位。它的高度自動化使得食譜的快速和容易編程能夠在毫秒內進行沈澱。總體而言，NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT是一款極其先進的反應堆機器，旨在滿足最先進的半導體應用的需求。它提供了無與倫比的精度、速度和工藝一致性,使其成為當今制造商的理想選擇。