二手 NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT #9390429 待售

NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT反應器是為電影沈積應用而設計的先進、高通量沈積系統。它具有模塊化和可擴展的體系結構,允許從單晶片到全晶片沈積的各種配置,這些配置可以針對廣泛的客戶流程需求進行定制。該系統的設計具有出色的膜性能均勻性,包括厚度均勻性和可重復性,並在所有基材類型中提供層對層和晶片對晶片的一致性。Concept 3 Speed NEXT具有業界領先的高通量過程室,能夠提供比傳統系統高四倍的速度和容量提升。它利用垂直提升工藝室以及頂置增強晶圓幾何模塊，這兩者都能夠在高沈積速率下實現均勻的薄膜性能。獲得專利的動態活動控制（DAC）技術進一步提高了所有晶圓尺寸的速度和均勻性。NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT的人性化高級平臺提供了一個總是最新的直觀界面，便於配置和控制反應堆。Concept 3 Speed NEXT也是一個安全平臺,能夠在嚴格的網絡安全協議下運行,為以後的系統更新提供對更多客戶和流程數據的訪問。總體而言，NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT是高通量沈積應用的理想反應器，需要卓越的薄膜均勻性和可重復性。它結合了高效的垂直工藝室、增強的晶圓幾何形狀、加速的速度和安全的數據分析,以提供業界最高的性能和吞吐量。