二手 NOVELLUS CONCEPT 3 Speed XT #9096022 待售

NOVELLUS CONCEPT 3 Speed XT是一種先進的等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）反應器。它是為多晶矽、SiO2、a-Si： H、Poly-SiGe、Poly-SiON、氮化矽等多種材料的薄膜沈積而設計的。它非常適合包括內存、平板顯示器和多層堆棧在內的應用。CONCEPT 3 Speed XT配備了大功率電子回旋共振（ECR）源，用於提高性能和提高沈積薄膜的質量。該光源最多使用四個微波頻率，以提高特定工藝的臨界溫度，從而提高薄膜的質量，並消除了在工藝之間進行額外光源洗滌的需要。NOVELLUS CONCEPT 3 Speed XT也以16站晶片處理設備構築，每次運行最多可容納120個晶片。該系統專為晶片的高效、精確的裝卸而設計，能夠容納最大的晶片尺寸。它還采用統一的溫度控制單元，以保持整個運行過程中的最佳沈積溫度。CONCEPT 3 Speed XT還配備了先進的離子輔助沈積（IAD）機。該工具能夠精確控制膠片中的摻雜劑，以滿足每種應用的確切規格，而無需額外的外部摻雜劑來源。IAD資產還有助於減少顆粒汙染,並有助於確保過程的可重復性。最後，NOVELLUS CONCEPT 3 Speed XT具有石墨熱壁室，有助於提高底物溫度均勻性，減少不需要的膜侵蝕。該腔室還能夠控制O2流量，以便於氮化矽和其他復雜堆棧的沈積。CONCEPT 3 Speed XT的所有功能都使其能夠在最復雜、最具挑戰性的沈積環境中提供卓越的膠片質量和高通量。它是一個理想的平臺，用於沈積最新的內存、顯示和多層堆棧，用於廣泛的應用。