二手 NOVELLUS CONCEPT 3 Speed XT #9258492 待售

NOVELLUS CONCEPT 3 Speed XT Reactor是一種模塊化的高通量真空設備，專為半導體製造過程而設計。該系統由反應堆室、抽水裝置和工藝模塊組成。反應堆室是一種獨特的步進電機驅動的鋼架，設計用於在運行過程中向上、向下或周圍移動。它具有高通量模塊化負載鎖定機,可配置用於多個應用程序,包括沈積、蝕刻和表面修改。抽水工具由真空泵、節氣門、氣體節氣門和過濾器組成。它擁有高通量透析資產，支持低壓和高通量操作。真空泵采用多級設計，保證了可靠高效的清潔操作，而節氣門則允許調節模型壓力以獲得最佳性能。另一個特點是一個可編程的熱控制器和氣體節氣門線，能夠準確控制氣體流動和溫度。工藝模塊是CONCEPT 3 Speed XT Reactor最重要的部件。它包括一個工藝室、一個隔離區域、一個電源、工藝自動化和低溫系統。該工藝室具有專有的均勻工藝控制，在化學結構和結晶結構中均具有均勻性。它還具有硬件、軟件和自動機器人自動化功能，用於高吞吐量處理。隔離區將敏感部件與腔室的活動環境隔離開來，確保設備的持續運行。電源提供高精度直流電壓，以實現高效運行。最後，低溫系統降低了熱量，提高了工藝的均勻性。總體而言，NOVELLUS CONCEPT 3 Speed XT Reactor是一種先進的模塊化半導體制造裝置，具有獨特的特點，可用於高通量處理。其模塊化的鎖載機易於配置，以適應各種應用，而其抽油機則高效可靠。其工藝模塊是這一資產的核心，擁有對化學和結晶結構的高效和精確的控制。該模型非常適合任何半導體制造過程，在非常高的吞吐量下提供快速可靠的處理。