二手 NOVELLUS Concept 3 Speed XT #9382870 待售

NOVELLUS Concept 3 Speed XT Reactor是一種革命性的重蝕刻和高度先進的CVD沈積技術。X系列是一款獲得專利的模塊化設備,旨在實現快速的處理時間、卓越的均勻性和更高的產量。適合大批量生產，基材種類繁多。Concept 3 Speed XT Reactor具有三速配置、堅固的設計和卓越的工藝控制,為要求最苛刻的工藝提供了前所未有的精度和可重復性。該反應堆用途廣泛，能夠采用濕法和PECVD法運行。它具有開放式籠式配置,與前代產品相比,它具有更高的工藝一致性和更低的運營成本。它也因其集成的傳熱系統而節能，減少了發熱，最大限度地提高了機組的效率。集成的智能工具控制允許高效處理復雜的配方和快速設置流程。NOVELLUS Concept 3 Speed XT Reactor提供同類產品中最高的反射和吸收材料處理能力,它配備了自動清潔機,可降低汙染風險並提高生產率。其Auto-shim功能允許輕松調整刀具的表面水平以滿足不斷變化的工藝要求,而氣體處理工具則使用集成傳感器進行高級氣流控制。Concept 3 Speed XT Reactor在產品基板上提供業界領先的低粒度,具有先進的工藝監控功能。該反應堆采用嚴格的壓力和溫度控制，確保了高水平的工藝質量和可靠性，並在其底物範圍內提供了最高的收率與成本之比。它還提供了高度的靈活性,允許輕松重新配置,以便為每個客戶及其應用程序定制生產過程。NOVELLUS Concept 3 Speed XT Reactor是要求苛刻的大批量生產的理想選擇。其堅固、安全的設計、集成的傳熱資產和先進的過程控制功能確保了最大的性能和統一性。Auto-shim和氣體處理模型使多種基材和復雜配方的設置更快、處理效率更高。此外，它的低粒度設計確保了最高產量和一流的工藝質量。