二手 NOVELLUS Concept 3 Speed #293592759 待售

NOVELLUS Concept 3 Speed是一種用於半導體和光伏工業的高性能化學氣相沈積（CVD）反應器。它提供了更快的底物裝卸，以及更高的吞吐量和更好的工藝均勻性。概念3 Speed有三個階段的處理，每個階段的設計都是為了產生不同的CVD過程結果。第一階段包括一個等離子體發生器和一個旋轉木馬控制，允許自動基板載荷。通過控制等離子體反應中使用的氣體，這一階段有助於確保所需材料的均勻塗層。第二階段設計用於高速率沈積，采用屏蔽多UT™（均勻錐形）淋浴頭。這種噴頭設計用於提供精確、均勻的沈積氣體分布，從而加快和提高薄膜沈積速率。最後，利用第三階段實現基板的高速率沈積和快速冷卻。它由一個冷卻室組成，它直接冷卻基板表面，使膜冷卻和降低材料溫度。這有助於降低過熱的風險，這可能導致不必要的結果。此外，第三級還包括一個低壓系統，該系統將腔內容積中存在的氣體排空，以保持腔內清潔。總之，NOVELLUS Concept 3 Speed是一種先進的、高性能的CVD反應器，允許快速的底物裝卸，提高吞吐量和更好的工藝一致性。它由三個階段組成，每個階段設計用於不同但基本的功能，以便在CVD過程中為任何基板提供精確一致的塗層。