二手 NOVELLUS Concept 3 Speed #293808529 待售
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ID: 293808529
晶圓大小: 12"
HDP CVD System, 12"
(12) Cartons:
EFEM, TM
(3) Process modules
Chase monitor
Front monitor
AC Rack
RF Rack
NTU Box
NPP Rack
Transformer
Cables.
NOVELLUS Concept 3 Speed是為先進半導體制造而設計的最先進的化學氣相沈積（CVD）反應器。該設備旨在生產極高的薄膜純度和器件產量，能夠沈積金屬、介電、石墨烯等多種功能性薄膜。Concept 3 Speed配備了一個緊湊的高速反應堆堆芯，在直徑13英寸的腔室中以高達30 μ m/min的高加速度運行。這種高速有利於薄膜的沈積，厚度可控且均勻。該系統還配備了雙氣流單元（DAFS），以保持均勻的工藝參數和低溫瓶頸，以及先進的晶片卡盤，用於精確的晶片控制。NOVELLUS Concept 3 Speed利用基於MFC的氣流控制來管理過程關鍵輸入和輸出,以保持室內的穩態條件,從而允許在開發新膠片時進行實驗室規模的測試。這臺機器還經過優化，以減少耗電量，確保能源成本保持在較低水平。過程控制工具基於先進的自動化算法，提供精確的過程控制和高可靠性。它包括HMI技術，操作員可以輕松地實時監控過程。此資產支持各種晶圓尺寸,並且可能適用於3英寸批處理,從而在生產環境中提供最大的靈活性和可擴展性。概念3 Speed非常適合制造高端CMOS和MEMS設備,因為它的高質量薄膜非常適合與設備結構配合使用。此外，由於其先進的自動化、可擴展性和提高的能效，這對於制造商和研究人員都是一個可靠的選擇。NOVELLUS Concept 3 Speed專為速度、品質和準確性而設計。
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