二手 NOVELLUS Concept 3 Speed #9263261 待售
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ID: 9263261
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
CVD System, 12"
Process: Nitride
Main frame (EFEM / TM)
Chamber A, B and C
AC Rack
RF Rack
2004 vintage.
NOVELLUS Concept 3 Speed是一種無工具、模塊化的過程反應器,設計用於高精度的過程開發。此設備提供快速的無工具配置,以最大程度地減少停機時間並最大限度地提高用戶的工作效率。Concept 3 Speed具備高速工藝控制功能、快速無刀具設置以及快速調整和優化工藝配方的能力,為開發和生產高級工藝提供了低風險的制造解決方案。NOVELLUS Concept 3 Speed是一款用途廣泛的制造設備,能夠處理各種過程。它配備了廣泛的舒適功能,如:現代化、用戶友好的觸摸屏用戶界面;用於產品清潔和控制沈積的多個噴嘴;不同工藝參數的可變流量控制,如溫度、壓力和真空;直流基板偏置;以及快速、清潔的過程氣體之間切換,以最大限度地提高生產率和最大限度地減少停機時間。Concept 3 Speed的模塊化體系結構允許用戶通過可自定義的功能和升級來配置和擴展系統,從而獲得最大的單元靈活性。它的模塊化設計在維護方面也是有益的-更換組件可以快速輕松地換出,而不會犧牲機器性能或功能。NOVELLUS Concept 3 Speed還提供了先進、集成的監控和數據收集工具,允許用戶實時記錄和審閱關鍵流程數據。這一資產的設計既具有高度的可靠性,又具有高度的可擴展性,允許用戶從多個反應堆和/或生產地點收集和儲存數據。然後,這些數據可用於監視過程性能、統計過程控制以及其他重要的工程和過程開發任務。Concept 3 Speed的高級配置選項允許精確控制整個生產過程,其強大可靠的系統旨在幫助確保保持最高的生產質量。此外,NOVELLUS Concept 3 Speed具有無刀具配置和快速、幹凈的工藝配方切換功能,是經濟高效、精確、快速生產高級工藝的理想機器。
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