二手 NOVELLUS Concept 3 Speed #9364308 待售

NOVELLUS Concept 3 Speed是一種高度創新的化學氣相沈積（CVD）反應器，旨在提高加工能力。它是集成電路制造和半導體器件制造的革命性工具。概念3 Speed采用單晶片旋轉和固定陰極設計，使其能夠提供出色的均勻性和沈積速率。其先進靈活的群集工具體系結構提供了與所有NOVELLUS系統的輕松集成和最大化共存。這個CVD反應堆配有一個可升級的自動化模塊，提供高水平的直通式，和卓越的質量處理結果。NOVELLUS Concept 3 Speed具有高流量氣體面板，以提高生產力。它具有兩個可調節的傾斜淋浴頭，通過預混合室增強，提供最佳的溫度、壓力和氣流方差控制。這項技術可以采用直列式或跨流式氣體混合物操作，提供出色的材料均勻性。概念3 Speed還通過其集成的熱源提供了改進的過程穩定性。這種熱源設備具有先進的三層擴散板，具有均勻的散熱特性，可實現最佳的材料成本。NOVELLUS Concept 3 Speed獨特的自清潔推板消除了粒子堆積的可能性，提供了一致的過程流。此外,自動離線工藝鑒定還可以快速調整塗層和優化的膜/基板界面特性。其先進的多位置晶圓操縱系統（PWMS）增強了Concept 3 Speed的性能。該單元支持晶圓接縫和環加載，提供了晶圓和前體處理的靈活性。此外，PWMS通過減少基板處理時間來提高機器的速度。NOVELLUS Concept 3 Speed提供了無與倫比的功能,提高了產品耐用性、增強了過程靈活性和高產效率。它是半導體器件制造商經濟高效可靠的CVD反應器解決方案。