二手 NOVELLUS Concept 3 Vector Express #293641738 待售
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NOVELLUS Concept 3 Vector Express Reactor是一種革命性的先進物理氣相沈積（PVD）設備，利用電離原子或離子將材料的纖薄塗層沈積到不同的表面上。反應堆部分包括離子源和磁控管濺射室，由雙射頻（RF）發電機和強大的脈沖發電機供電。離子源使得能夠從如氮氣、氙氣和其他惰性氣體等成分產生電離氣體。磁控管濺射室然後利用這些離子濺射由特定材料組成的安裝目標。所沈積的材料範圍從銅或鋁，到鎢、鉬、鈦，或其他金屬和合金。Vector Express Reactor是一種高精度的設備。它具有雙目標發電機，能夠將多種厚度不同的材料沈積到基板上。雙目標功能允許同時使用兩種目標材料,同時使用桌面軟件控制確切的層厚度。塗層的厚度可以精確控制到一納米的分辨率。Vector Express Reactor也使用了先進的多表面基座系統。可以根據正在沈積的材料的類型來調整這個持有者單元，以提供薄膜的均勻沈積。持有機也可用於為底物上的局部電離提供燃料。這樣就形成了均勻均勻的塗層。盡管Vector Express Reactor是一種功能強大的工具,但它的復雜性和較高的擁有成本最適合大型生產環境。這種專門的沈積反應器非常適合大規模生產具有最佳薄膜特性和高通量的薄膜。它對層厚度和局部電離燃料的數字控制也是半導體、MEM、LED和光學器件制造的理想選擇。
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