二手 NOVELLUS Concept 3 Vector Express #9246247 待售
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ID: 9246247
System
Gas configuration:
Gas / MFC Type / Size (SCCM) / Filter (P/N)
SiH4 / BROOKS / 1500 / 1-888-554-FLOW
N2 / BROOKS / 10000 / 1-888-555-FLOW
He / BROOKS / 20000 / 1-888-556-FLOW
NH3 / BROOKS / 1000 and 10000 / 1-888-557-FLOW
N2O / BROOKS / 2500 / 1-888-558-FLOW
N2O / BROOKS / 1500 / 1-888-559-FLOW
O2 / BROOKS / 30000 / 1-888-560-FLOW
NF3 / BROOKS / 1000 and 10000 / 1-888-561-FLOW
N2 / BROOKS / 10000 / 1-888-562-FLOW
Ar / BROOKS / 10000 / 1-888-563-FLOW
Pressure control:
Chamber 627A11TBC, 10T (P/N: 27-10343-00)
Loadlock 750B11BTCE2GK, 10T (P/N: 27-126062-00)
Manifold A filter MPUJ180 (P/N: 22-169887-00)
Manifold B filter GLFPF3000VMM4 (P/N: 22-00006-00)
RPC Isolation valve
RPS AX7645RH-01AX7645 (P/N: 27-282770-00, 27-277368-00)
Detector
Main A valve SWAGELOK (P/N: 22-043786-00)
Main B valve SWAGELOK (P/N: 22-295147-00)
Valve:
Pendulum valve (P/N: 63-323815-00)
Loadlock isolate valve XLA-25-M9
Slit valve door XGT300-30-1A-32 (P/N: 60-251903-00)
VAT Door 07512-UA24-0002 (P/N: 60-123331-00)
RF Related:
HF Generator APEX 5513 (P/N: 27-284656-00) 13.56 MHz
HF Match ADVANCED ENERGY Navigator-10013 (P/N: 27-296376-00)
LF Generator 350-450 kHz
LF Match LFMN8/5 (P/N:27-295862-00)
RF Distribution board (P/N: 02-307707-00)
SHD Distribution board (P/N: 02-280915-00)
Temperature control:
WATLOW PYLM-C005-0727
Temperature controller 20-1000500-409N008-1
Water switch 50-3NB-AAJ6
PED1 S1-1324-112N003
PED2
PED3
PED4
Wafer handler:
Load port FIXLOAD TM 6M (P/N: 63-292227-00)
FI Robot BROOKS ATR8 (P/N: 121669)
LTM Robot (P/N: 15-256077-01 REV A)
Load lock pedestal
PED1 Lift pin actuator
Spindle C-2030D010299-0608 (P/N: 02-275637-00)
Pedestal MCA ball
Pedestal MCA PIN
LL Pedestal actuator
Carrier ring
System control:
System controller MC3
Motion controller MC3
Missing parts:
Loadlock pump
Isolation
Coolpad
Coolpad actuator.
NOVELLUS Concept 3 Vector Express是一種單晶片批量型化學氣相沈積（CVD）反應器，旨在為半導體器件材料提供精確、可重復的薄膜沈積。該反應堆能夠沈積各種各樣的材料，包括氧化物、氮化物、金屬和電介質，是生產現代高性能裝置的理想選擇。Concept 3 Vector Express基於兩個相互連接的化學氣相沈積（CVD）腔室，每個腔室都有自己的加熱器和敏感器。感光器可以單獨和獨立地在加熱區之間移動，從而提供一個可調的過程窗口。Vector Express還可以包含最多三個前體，可以註入腔室以沈積不同的層，全部采用單一工藝。NOVELLUS Concept 3 Vector Express還能夠超過1.3納米均勻度的氧化物、氮化物和嵌入式柵極結構，使得下一代超小型晶體管和高性能半導體器件的生產成為可能。該設備采用高傳動、X射線質量增強設計,提供卓越的氧化物壓實和薄膜厚度均勻性,並提高關鍵部件的使用壽命。Concept 3 Vector Express還包括多項安全功能，提供操作員和系統保護。例如,一個獨特的「慢跑」功能允許從設備的編程門戶中快速選擇不同的流程配方,並提供一系列流程選項。此外，機器的自調晶圓尺寸可以補償基板尺寸或形狀的變化，減少變異性。最後,Vector Express具有自我診斷功能,可以識別流程數據中的細微之處,並在流程超出規格之前采取糾正措施。這提高了流程的可重復性和可靠性,最終提高了產量。總之，NOVELLUS Concept 3 Vector Express是用於實現先進半導體器件工藝的最先進的CVD反應堆。Vector Express具有精確的可編程磁化器、高精度X射線質量元件和獨特的慢跑功能,專為高效生產當今最小、最可靠和性能最高的半導體器件而設計。
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