二手 NOVELLUS CONCEPT 3 Vector #9169845 待售

NOVELLUS CONCEPT 3 Vector是一種多軸化學氣相沈積（MPCVD）反應器，設計用於復雜納米結構的沈積。它非常適合要求更高材料均勻性和保形性的先進材料和設備應用。Vector包括兩個獨立控制的獨立軸,以確保將相同的工藝條件應用於較大的基板。雙軸方法可確保整個基板上的蝕刻過程均勻一致,從而產生均勻的一致性和理想的電氣、光學或機械特性。向量的核心是它的腔室和兩軸線性傳遞系統。腔室由壓力控制，溫度通過加熱元件和卡盤溫度傳感器控制。傳輸系統包括一對直線電動機，連同一個平移級，以極高的精度精確定位和移動晶圓在三個軸上。在燃燒室內，反應堆和氣團協同工作，提供高精度的濺射和蝕刻工藝。在聚氯乙烯中，等離子體用於在所加工的目標材料上產生放電。這種放電用於從目標材料中蒸發材料，然後將其沈積在所需的基板上。在蝕刻過程中，氣體被引入腔室，與目標材料發生反應，在基板上形成薄薄的保護層或蝕刻圖樣。Vector還包括多個加工工具，如腔室襯裏和加工罩，為蝕刻過程提供額外的均勻性和保形性。這些加工工具還可以防止室內的汙染，並允許快速熱循環。Vector的設計允許高重復性、低缺陷級別、兼容MEMS處理和生物兼容性。其高分辨率、低缺陷成像系統允許過程監控。Vector提供快速的熱循環,並在整個過程中保持高一致性,同時保持較低的總擁有成本。